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플라즈마 처리장비 ( Plasma Treatment system )
사용범위 :단독
활용용도 및 이용분야 :
〇 고분자의 산화반응
〇 진공상태에서 플라즈마처리관을 통과하여 샘플을 산화시키는 방식, 고분자시표의 플라즈마 처리
위상 변조 분광 타원 해석기 ( Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 본 장치는 Sample에 특별한 전처리 과정 없이 Sample의 하기와 같은 정보를 분석할수 있다.
* 물질 특성 - Alloy composition - Microstructure and crystallinity - Film uniformity by area and depth
* 두께 측정 - Accurate thin film measurement from a few angstroms to several tens of microns - Characterization of single layer and complex multilayer stacks - Characterization of surface (roughness native oxide) and interface
* 광학 특성 - Refractive index (n) and extinction coefficient (k) from the UV to IR for complex materials graded and anisotropic layers - Optical bandgap (Eg)"
광학현미경 ( Eclipse Ni-u )
사용범위 :
활용용도 및 이용분야 :
○ TEM 시편 준비시 정확한 두께의 측정 transmission mode를 이용한 빛의 투과도를 평가하여 샘플의 두께를 정확히 판단.
○ EBSD 샘플의 경우 SEM이나 TEM으로 분석 전 EBSD 가능 여부를 판단함.
○ SEM 단면 시편 역시 SEM 가능 여부를 판단 가능.
광학현미경 ( Eclipse Ni-u )
사용범위 :공동활용서비스
활용용도 및 이용분야 :
○ TEM 시편 준비시 정확한 두께의 측정 transmission mode를 이용한 빛의 투과도를 평가하여 샘플의 두께를 정확히 판단.
○ EBSD 샘플의 경우 SEM이나 TEM으로 분석 전 EBSD 가능 여부를 판단함.
○ SEM 단면 시편 역시 SEM 가능 여부를 판단 가능.
스퍼터링 시스템 ( ATC ORION Series Sputtering System )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 자성박막의 증착에 특화된 장비로 Gun 아래에 놓여있는 magnetic이 특수 제작되어 자성타겟의 두께가 3mm이상의 영역에서도 플라즈마를 띄어 박막을 증착 할 수 있다. 또한 두께의 유니포미티가 우수하며 얇은 박막의 특성을 일정하게 유지 할 수 있는 장점이 있다. 그리고 Gun이 7게가 장착이 되여 다양한 alloy 박막을 증착할 수 있는 장점이 있어서 여러 분야에 응용이 가능
고속대면적고분해능 3D 홀로그래피 ( DHM R1000 )
사용범위 :공동활용서비스
활용용도 및 이용분야 :
○ z 축의 분해능이 0.2 nm로 AFM과 유사한 해상도를 가짐과 동시에 분석에 소요되는 시간은 현존 3D 분석 장비에 비해 현저히 적은 수초 이내로 이미지를 얻을 수 있으므로 시편의 크기가 상대적으로 크고 분석해야하는 표면이 상대적으로 넓은 복합체의 표면분석에 적합단 것으로 판단된다.
○ 분석방법은 기존의 현미경 사용법과 크게 다르지 않을 정도로 간단하며 원하는 영역의 표면을 레이져 reflection법을 사용하여 scanning하므로 시편의 손상이 없이 빠르게 대면적을 고분해능으로 분석할 수 있다.
○ roughness분석 및 defcet 분석가능함.
산소투과도시험기 ( Oxygen Transmission Rate Tester )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 봉지재 OLED 또는 각종 전자소자의 가스 차단막 연구 및 개발을 위해 사용
〇 그래핀 및 나노카본의 표면 특성제어와 이를 통한 가스 투과 특성평가
〇 탄소복합소재 필름의 산소투과도 측정"
삼차원 X선 이미징 시스템 ( Zeiss : Xradia Ultra/Versa hybrid systems )
사용범위 :공동활용서비스
활용용도 및 이용분야 :
〇 X-ray를 이용한 비파괴 삼차원 이미지를 통해 복합소재 분포와 방향성, 기공의 분포, 내부구조 분석에 용이함. 특히, 다종복합소재의 경우 여러 종류의 물질의 구성 특성을 구분하고 복합화의 특성 규명 가능
〇 다양한 엑스레이 광원을 이용하여 복합소재의 내부 고조 및 재료물질들의 배합과 Detect 위치 스캔 및 단층의 촬영을 통해, 시료의 파괴 없이 3D topography를 이용, 매크로에서 수십 나노까지의 다양한 정보, 4D 연구와 ROI 정확한 위치 파악을 통한 파괴 분석의 효율성과 효과 극대화를 통한 복합소재의 구조분석로 활용함.
초정밀 수증기 투과도 분석장비 ( Water Vapor Transmission Rate Analyzer with High Sensitivity )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 봉지재, OLED 또는 각종 전자소자의 가스 차단막 연구 및 개발 활성화로 탄소복합소재필름의 수증기 투과도
〇 나노카본의 표면 특성제어를 통한 가스 투과 특성 측정
〇 그래핀의 중요한 응용 연구로 가스 차단막의 수분 투과도 측정
〇 시장성이 큰 OLED 응용을 위한 현 최고 사양"
X선 회절기 ( SmartLab )
사용범위 :공동활용서비스
활용용도 및 이용분야 :
○ 재료를 구성하고 있는 다양한 결정상들의 특성을 분석할 수 있는 분석장비
○ 탄소 무기물 금속등 고체상 시료의 손상 없이 물질의 결정성 입자크기 배향성 및 이종상의 분포 등을 정량적으로 분석

관련사이트