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광대역 주파수 나노탄소복합소재 전자파차폐 측정 시스템
사용범위 :
활용용도 및 이용분야 :
- 나노탄소 복합소재 및 섬유 복합소재 등의 고주파대역 전자파 특성 분석
- 주기적으로 변화하는 Pulse 신호 분석
- 플라즈마 공정 변수 (Cut-off probe) 및 Matching 회로 측정
아세틸렌, 에틸렌가스 전처리 시스템 ( gas purification system for acetylene and ethylene gas )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
○ 올레핀 중합에 사용되는 에틸렌 가스 및 아세틸렌 가스의 경우 수분, 산소 및 일산화 탄소가 있는 경우 올레핀 중합에 사용되는 촉매의 활성을 감소 시켜 중합도를 낮추거나 중합이 일어나지 않게 하는 요인으로 작용 할 수 있다. 그러므로 중합도가 높은 올레핀계 고분자를 얻기 위하여 가스형태로 사용되는 모노머 물질등에 포함되어 있는 불순물을 고순도로 정제할 필요성이 있다.
올레핀 중합용 고압반응기 ( High pressure reactor system for olefin synthesis )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
"○ 올레핀 중합중 에틸렌 중합에 사용 가능함. 특히 슬러리 방법을 통한 고체상태의 중합에 이용됨. 또한 다른 종류의 탄화수소 가스와의 혼합가스를 제조후 올레핀계 고분자의 공중합체를 중합하는데 사용 가능함.
○ 탄화수소의 종류로는 에틸렌 아세틸렌을 사용 가능하도록 설계 하였으나 향후 추가적으로 프로필렌 등을 설치 할 수 있다."
위상 변조 분광 타원 해석기 ( Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 본 장치는 Sample에 특별한 전처리 과정 없이 Sample의 하기와 같은 정보를 분석할수 있다.
* 물질 특성 - Alloy composition - Microstructure and crystallinity - Film uniformity by area and depth
* 두께 측정 - Accurate thin film measurement from a few angstroms to several tens of microns - Characterization of single layer and complex multilayer stacks - Characterization of surface (roughness native oxide) and interface
* 광학 특성 - Refractive index (n) and extinction coefficient (k) from the UV to IR for complex materials graded and anisotropic layers - Optical bandgap (Eg)"
스퍼터링 시스템 ( ATC ORION Series Sputtering System )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 자성박막의 증착에 특화된 장비로 Gun 아래에 놓여있는 magnetic이 특수 제작되어 자성타겟의 두께가 3mm이상의 영역에서도 플라즈마를 띄어 박막을 증착 할 수 있다. 또한 두께의 유니포미티가 우수하며 얇은 박막의 특성을 일정하게 유지 할 수 있는 장점이 있다. 그리고 Gun이 7게가 장착이 되여 다양한 alloy 박막을 증착할 수 있는 장점이 있어서 여러 분야에 응용이 가능
나노포어시스템 ( Nanopore system )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
○ Ra and Cm 레코딩 상태에서 멤브레인 테스트 측정 : 가능
○ 멤브레인과 seal 테스트에서 single resiable window와 결합 : rksmdd
○ 4가지 파형의 자극 (with the Digiddat 1440A) : 가능
○ Sweep 테스트 중에 8가지 디지털 출력 컨트롤 : 가능
○ Sweep 테스트 중에 split-clock 샘플링 컨트롤 : 가능
○ raw, corrected trace의 자동 누수감지 : 가능
○ 적시에 모든 프로토콜의 입력 : 가능
○ Digidata 1440A digitizer와의 호환 : 가능
○ New ABF 2.0 fiile format : 가능"
전자빔 증착장치 ( E-beam evaporator )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
○ 탄소나노튜브 기판위 성장를 위한 촉매 형성 그래핀 증착을 위한 촉매 필름 형성 각종 금속 전극 증착 금속산화물 증착.
〇 고진공(10-5torr 이하)하에서 수냉 도가니를 사용하므로 저항가열식의 단점인 오염이 비교적 적고 고에너지를 가진 열전자를 접속하기 때문에 고융점 재로도 증착을 할 수 있으며 증착속도 조절이 용이하여 최근에 널리 사용되고 있는 방법임."
자기장이 걸리는 저온 측정 장비 ( Low temperature probe station )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 Magneto-transport measurements
〇 Electrical and electro-optical measurements over a wide temperature range
〇 RF and microwave
〇 Parametric testing
〇 Shielded/guarded/low noise characterization
〇 Nanoscale electronics(carbon nanotube transistors single electron transistors molecular electronics nanowires etc.)
〇 Quantum wires and dots quantum tunneling"
반도체 전기 특성 측정 장비 ( Semiconductor Analyzer )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 반도체 전기적 특성 측정
〇 LED TFT Memory 등 소자 특성 특정
〇 디바이스 신뢰성 평가
〇 나노 물질 전기 전도 특성 평가.
〇 Ion 전도 특성 평가"
광전소자측정장치 ( Photoelectric Device Measurement SET )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
"〇 탄소 기반의 전극 및 반도체소재를 이용하여 제작된 광전소자의 기본적 특성을 평가하기 위함.
〇 탄소기반 재료의 다양한 소자적용 및 탄소기반소자의 전기적 특성들을 신속하고 정확히 파악"
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