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그래핀/h-BN 합성용 PECVD-PVD 클러스터 시스템 ( PECVD-PVD Cluster System for Graphene/h-BN )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 다양한 촉매 금속층을 증착할 수 있으며, Target 의 조성이 전혀 변하지 않고 기판위에 물리적으로 쉽게 증착할 수 있음. 특히 transfer chamber를 통해 산화되는 문제에서 벗어날 수 있으므로, Defect가 거의 없는 촉매층을 이용하여 고품질의 전자재료들을 합성할 수 있음.
나노카본 레이져 합성 시스템 ( Nanocarbon PLD System )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
○ 나노카본 뿐만 아니라 여러 가지 나노 재료들을 전자 재료에 응용 및 상용화 시키기 위해서는 재료의 화학적 구성 중 불순물이 가장 최소화되어야 하며, 특히 현재 가장 많이 연구되고 있는 분야인 그래핀의 밴드갭 조절이 반드시 필요함.
○ 본 장비는 Dual system을 도입하여 PLD 뿐 아니라 Laser Ablation도 가능하여 복합소재 필러인 CNTs, BNNTs등을 효율적으로 생산할 수 있음"
고분해능 X-선 회절분석기 ( X’Pert PRO MRD )
사용범위 :공동활용서비스
활용용도 및 이용분야 :
〇 본 장비는 신소재, 물리, 회학, 반도체, 재료공학, 금속, 고분자, 나노 등 기초소재 연구를 하는 장비로서 고체, powder, 나노물질, 고분자 물질 및 의약물질 결정구조를 비파괴 방법으로 측정하는데 필요한 장비임.
나노포어시스템 ( Nanopore system )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
○ Ra and Cm 레코딩 상태에서 멤브레인 테스트 측정 : 가능
○ 멤브레인과 seal 테스트에서 single resiable window와 결합 : rksmdd
○ 4가지 파형의 자극 (with the Digiddat 1440A) : 가능
○ Sweep 테스트 중에 8가지 디지털 출력 컨트롤 : 가능
○ Sweep 테스트 중에 split-clock 샘플링 컨트롤 : 가능
○ raw, corrected trace의 자동 누수감지 : 가능
○ 적시에 모든 프로토콜의 입력 : 가능
○ Digidata 1440A digitizer와의 호환 : 가능
○ New ABF 2.0 fiile format : 가능"
자외선광전자분광기 ( ESCALAB 250Xi )
사용범위 :공동활용서비스
활용용도 및 이용분야 :
〇 반도체, 화합물 반도체, 금속, 세라믹, polymer, 이차 전지, thin-film (박막), glass, solar cell, paint, LCD, LED, OLED, 촉매, 부식 등의 다양한 시료에서
* valence band 에서 분자들의 energy gap 확인
*시료의 표면의 정성 및 정량 분석
* 물질의 화학적 결합상태 확인 (chemical state)
* 다층 시료의 계면 및 층별 정성 및 정량분석
* 원소의 분포상태 확인 (by Parralel Image Mapping)
* 초박막의 비파괴적 정성 및 정량 분석 (ARXPS)
마이크로 CT ( SKYSCAN 1172 )
사용범위 :공동활용서비스
활용용도 및 이용분야 :
○ 탄소섬유 복합체 내 탄소섬유의 배향 관찰.
○ 탄소소재 복합체 내 defect 관찰.
○ 복합체 단면 morphology 및 3D 형상 관찰.
○ 작은 결함 (0.7μm) 까지 탐지 가능
전자빔 증착장치 ( E-beam evaporator )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
○ 탄소나노튜브 기판위 성장를 위한 촉매 형성 그래핀 증착을 위한 촉매 필름 형성 각종 금속 전극 증착 금속산화물 증착.
〇 고진공(10-5torr 이하)하에서 수냉 도가니를 사용하므로 저항가열식의 단점인 오염이 비교적 적고 고에너지를 가진 열전자를 접속하기 때문에 고융점 재로도 증착을 할 수 있으며 증착속도 조절이 용이하여 최근에 널리 사용되고 있는 방법임."
X-선 광전 분광기 ( K-Alpha )
사용범위 :공동활용서비스
활용용도 및 이용분야 :
○ 탄소섬유 탄소나노소재 및 탄소 복합소재의 표면 화학 분석
○ 반도체소재 박막 금속 화합물 유리 고분자 및 나노소재의 표면 분석
○ XPS System은 고체 시료의 표면 계면 및 다층막의 정성 및 정량 분석을 하는 표면분석 장비로 교내 여러 학과 및 외부의 다양한 시료를 분석하여야 합니다. 예상되는 시료는 반도체 화합물 반도체 금속 세라믹 polymer 이차 전지 thin-film (박막) glass 등 매우 다양함
자기장이 걸리는 저온 측정 장비 ( Low temperature probe station )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
〇 Magneto-transport measurements
〇 Electrical and electro-optical measurements over a wide temperature range
〇 RF and microwave
〇 Parametric testing
〇 Shielded/guarded/low noise characterization
〇 Nanoscale electronics(carbon nanotube transistors single electron transistors molecular electronics nanowires etc.)
〇 Quantum wires and dots quantum tunneling"
투습도 시험기 ( Water Vapor Transmission Rate Tester )
사용범위 :공동활용
활용용도 및 이용분야 :
○ 상기 물품은 다양한 재료(플라스틱 필름 종이 부직포 섬유 고무 등)의 필름 및 완성된 포장용기의 다공성(Porosity) 및 투과성(Permeability)을 측정하고 분석하는 장비로 투과되는 수분의 양을 측정한다.

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