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광전자, KIST 전북과 협력하여 전북 반도체 기술 혁신 선도
구분
기업지원 사례
작성일
2025-03-06
조회수
253
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광전자, KIST 전북과 협력하여 전북 반도체 기술 혁신 선도


[광전자 홈페이지]

광전자 SF 기술부 송윤재 부장


Smart Society의 새로운 미래의 물결광전자가 함께합니다.

1972년 일본 교토를 시작으로 1980년 한국 익산, 1992년 중국 심양까지 한··일 3국을 거점으로 한 40여 년의 역사를 지닌 KODENSHI 그룹의 광전자는오랜 기술 노하우를 바탕으로 광센서·반도체 디바이스 사업 네트워크를 구축하고화합물반도체FAB과 실리콘FAB 기술을 보유하며 Chip에서 Package까지 Total System Solution을 제공하는 기업입니다.

광전자는 2021년 KIST 패밀리 기업으로 선정된 이래, KIST 전북의 전문 연구 인력 및 첨단 연구 장비를 활용한 기술 개선 활동을 통한 성과를 도출해 왔습니다금번 기고에는 광전자가 KIST 전북이 보유한 FIB(HELIOS 650), TEM, EDAX 장비를 적극 활용하여 반도체 내부 구조적 결함 분석 및 신공정 개발 등을 진행했고이를 통해 회사의 경쟁력 강화를 도모할 수 있었던 사례를 소개하고자 합니다.

 

FIB(HELIOS 650)·TEM을 활용한 반도체 기술 혁신 사례

광전자는 반도체 소자의 성능 개선과 신뢰성 향상을 위해KIST 전북과 협력하여 최첨단 분석 장비를 활용한 연구를 수행하고 있습니다.


ㅇ FIB(HELIOS 650) – 미세 단면 가공 및 내부 결함 분석

FIB(HELIOS 650)는 반도체 소자의 내부 구조를 정밀하게 가공하고 분석할 수 있는 장비로광전자의 반도체 제품 개발 및 품질 개선에 중요한 역할을 하고 있습니다. FIB를 활용하여 나노미터(nm) 단위의 단면을 가공하고내부 구조적 결함(Crack, Void, Surface Defect, etc)을 정밀 분석했습니다.

분석 결과를 기반으로 공정을 개선하여 반도체 소자의 신뢰성을 향상시켰으며신공정 개발 과정에서 소자 내부의 문제를 조기에 파악하고공정 변수를 최적화하여 생산 효율성을 높일 수 있었습니다.


[신공정 개발을 위한 구조 분석 예]




[공정 결함 구조 분석 예]



ㅇ TEM – 고해상도 나노 구조 분석을 통한 공정 최적화

TEM(투과전자현미경)은 반도체 박막 및 접합 구조의 원자 단위 분석이 가능한 장비로반도체 소자의 품질 향상에 필수적입니다광전자는 TEM을 이용해 소자의 다층 박막 구조를 분석하고신소재 적용 가능성을 검토하였습니다.

이를 통해 소자의 전기적·광학적 특성을 개선하는 데 성공하였으며최적화된 박막 구조 설계를 기반으로 신뢰성을 향상시켰습니다최적화된 공정 및 구조 개발을 기반으로 소자의 수명을 연장하고장기적인 안정성을 확보할 수 있었습니다.

 

FIB·TEM 분석 장비 교육– 실습을 통한 장비 활용도 극대화

KIST 전북은 광전자 연구진의 분석 역량을 강화하기 위해 FIB(HELIOS 650) 및 TEM 장비의 이론 및 실습 교육을 진행하였습니다.

교육 과정에서는 FIB·TEM의 원리샘플 준비 방법데이터 해석 기법 등이 포함되었습니다연구진들은 실제 장비를 활용한 실습을 통해 장비 운용 능력을 향상시켰으며분석 장비의 효율적인 사용 및 장비 활용 능력 강화로 인해반도체 소자의 분석 정확도를 높이고 연구 속도를 단축하는 효과를 거두었습니다.

 

 광전자()는 KIST 전북과의 협력을 통해 첨단 연구장비를 활용한 분석과 교육을 진행하며반도체 제조의 핵심인 웨이퍼 공정부터 패키지 공정까지 기술적 안정성을 확보하는데 많은 도움이 되었습니다이를 통해 고객 품질 서비스 향상은 물론신공정 개발 및 검증을 통해 반도체 기술 경쟁력을 더욱 강화할 수 있었습니다.

 앞으로도 첨단 연구 장비 활용 및 교육 등의 지속적인 협력을 통해 기술 혁신을 이어갈 계획이며, KIST 전북 뿐만이 아닌 본원 및 타 분원까지도 협약을 통해 연구 장비 활용 및 기술 교류의 장이 더 확대될 수 있기를 바랍니다.

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